文件名称：采用磁过滤MEVVA源制备DLC膜的研究 (2002年)
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更新时间：2024-06-03 22:41:11
自然科学 论文
采用磁过滤MEVVA沉积技术以石墨为阴极在几种衬底表面(单晶硅、不锈钢和工具钢等)上制备高质量类金刚石( DLC)薄膜。实验结果表明,沉积能量对薄膜的 sp3键含量的影响为先随能量的增加而增加,达到最大值后,再增加沉积能量含量反而下降。硬度测试结果表明,非晶金刚石薄膜具有极高的硬度,为70～78 GPa,远远高于衬底材料的硬度值。对非晶金刚石薄膜的摩擦性能试验结果表明,非晶金刚石薄膜的摩擦因数为0.16～0.2,大大低于衬底材料。