用光伏法及红外吸收法分析硅单晶质量 (1992年)

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文件名称：用光伏法及红外吸收法分析硅单晶质量 (1992年)

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更新时间：2024-06-18 14:54:32

自然科学 论文

本文用光伏法测定样品的少子扩散长度,论证放宽直线拟合的T.S.Moss条件,用红外吸收法测定样品的氧、碳含量并样品的品质,实验发现,硅单晶的红外吸收光谱(a-λ~(-1))的基线愈高,则其中的少子扩散长度愈短;反之亦然,还探讨了基线的物理性质。