文件名称：静力水准传感器中厚膜陶瓷电容传感器的研制 (2014年)
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更新时间：2024-07-07 12:28:18
自然科学 论文
为研制可用于粒子加速器等大科学工程的高精度静力水准传感器,结合国内电容微位移测量技术,完成厚膜陶瓷电容的结构设计。针对参数设计,采用正交实验法和AnsoftMaxwell有限元仿真软件的优化方法,完成了电容传感器的制备及样机的测试。测试实验结果表明传感器具有2.6085%的线性度。
静力水准传感器中厚膜陶瓷电容传感器的研制 (2014年)
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