Silicon based MEMS：Materials, Processing and Design

【文件属性】：

文件名称：Silicon based MEMS：Materials, Processing and Design

文件大小：1006KB

文件格式：PDF

更新时间：2021-04-18 13:43:38

微机电系统

有关基于硅材料的微机电系统的材料选取、工艺流程以及设计