通过散射板干涉仪的改型实现非球面的零测试 (1998年)

【文件属性】：

文件名称：通过散射板干涉仪的改型实现非球面的零测试 (1998年)

文件大小：1.33MB

文件格式：PDF

更新时间：2024-05-18 05:50:56

工程技术 论文

通过对散射板干涉仪的适当改型,利用散射板上离轴点产生的附加程 差来补偿球面和非球面之问的光程差,无需任何零光学元件．就可产生一种新型 的二次非球面零测试法。本文对这一方法进行了描述、分析和实验。