臭氧在氧化铝薄膜生长过程中氧化机理的研究 (2012年)

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文件名称：臭氧在氧化铝薄膜生长过程中氧化机理的研究 (2012年)

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更新时间：2024-07-03 06:43:57

工程技术 论文

使用密度泛函的B3LYP方法研究了臭氧在原子层沉积制备氧化铝过程中的初始氧化机理,计算发现:臭氧的端位O应该首先与Al原子配位成键,然后再与―CH3上邻近的H原子结合,最后释放O2,形成AlOH基团,因为这一路径是能量上更加有利的过程。