梯度应变对钦酸钡薄膜介电行为的影响 (2009年)

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文件名称：梯度应变对钦酸钡薄膜介电行为的影响 (2009年)

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更新时间：2024-06-02 13:46:30

自然科学 论文

考虑膜中应变随位置的变化,应用Pertsev热力学理论,研究了BaTi03薄膜介电常数随温度的变化。发现衬底与膜间热膨胀系数差和膜的沉积温度显著影响介电常数的值及其峰值温度,介电常数随沉积温度的降低而增大,计算结果与实验数据较好地吻合。