文件名称：Al靶中稀土Y含量对薄膜CrAlTiN的影响 (2008年)
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更新时间：2024-06-14 04:23:22
工程技术 论文
研究了AI靶中加入不同含量的稀土Y对CrAlTiN薄膜的影响。应用SEM,EDS,XPS、显微硬度计对薄膜样品进行分析。结果表明,在AI靶材中加入稀土Y后,不但提高了薄膜的厚度,而且随着稀土Y含量的增加,薄膜的表面相逐渐由CrN.Cr,N向Cr变化,AI的含量也是随着Y含量的增加而增加。CrAlTiN薄膜的硬度随着稀土Y含量的升高而降低,并且随着Y含量的升高而逐渐趋于1500HV。