文件名称：真空度对泡生法蓝宝石晶体生长环境的影响 (2013年)
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更新时间：2024-05-27 20:06:38
工程技术 论文
指出对泡生法蓝宝石晶体生长，无需采用过高的真空度．炉内真空度达10-1Pa级时，进一步提高真空度对长晶炉热效率影响不大，较低的真空度有利晶体在出炉前低温段的冷却．研究表明，尽管高真空度可以有效防止热场中钨／钼材料的氧化，但真空度过高容易导致钨钼材料的升华损耗；真空度越高，原料三氧化二铝熔体蒸发越甚，导致热场零部件污染越严重，从而缩短热场零部件的使用寿命；采用惰性气体保护可以在较低真空度下防止热场中钨钼件氧化，同时抑制熔体蒸发、保持热场洁净并延长热场使用寿命．