硅基多孔阳极氧化铝模板的制备研究 (2011年)

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文件名称：硅基多孔阳极氧化铝模板的制备研究 (2011年)
文件大小：302KB
文件格式：PDF
更新时间：2021-05-22 05:48:16
自然科学 论文 利用电子束蒸发在硅衬底上制备Al膜，并制备硅基阳极氧化铝(AAO)模板；利用X射线衍射和扫描电子显微镜对模板的结构和形貌进行了表征；利用计算机对阳极氧化电流的实时观测监控了硅基AAO模板的自组装过程．优化了制备孔洞规则的高质量硅基阳极氧化铝模板的条件，该模板对进一步研究硅基AAO模板多铁功能纳米管线及相应的器件奠定了基础．