回收砂浆对多晶硅片表面质量的影响 (2014年)

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文件名称：回收砂浆对多晶硅片表面质量的影响 (2014年)
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更新时间：2021-05-22 16:13:39
工程技术 论文 在硅片切割过程中，为了降低加工成本，企业大都是利用回收砂浆进行切割硅片。随着切割工艺的成熟，在不影响硅片质量的前提下，降低生产成本已成为企业关注的焦点。本文关注的重点是在实际的工业生产中，不同比例回收砂浆对多晶硅片表面质量的影响；并提出为保证硅片的品质，切片企业使用回收砂浆的比例应维持在80% 以下。在此基础上，分析了使用回收砂浆对企业降低生产成本所做的贡献。