文件名称：差分式MEMS面内加速度计设计* (2014年)
文件大小：1.25MB
文件格式：PDF
更新时间：2024-05-15 12:23:05
工程技术 论文
设计了一种新型差分式大量程MEMS加速度计,实现了面内大过载信号的测试。 首先利用MATLAB软件结合理论原理,设计了具体的结构参数,利用ANSYS有限元分析软件验证了结构设计的合理性。 将本差分式MEMS面内加速度计结构用于集成三轴传感器,3个敏感质量块可以分别感应3个方向的加速度而不会相互影响,可以有效解决传感器体积大以及轴间交叉干扰的难题。