Bennett型射频质谱计的实验研究 (1964年)

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文件名称：Bennett型射频质谱计的实验研究 (1964年)

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更新时间：2024-06-20 20:11:57

自然科学 论文

射频质谱计是测量真空系统中混合气体成分及含量的工具,因此也可以作为真空计使用。 自从1950年Bennett发明了第一个射频质谱计起,到现今有许多人进行了研究工作,发表了很多文章。