晶体的超精密平面抛光 (2001年)

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文件名称：晶体的超精密平面抛光 (2001年)
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更新时间：2021-05-28 16:44:22
自然科学 论文 修正环型抛光机用于超精密平面抛光,并对沥青抛光进行了运动学分析基于得到的方程式发现在相同条件下,计算出的抛光量和平面度与60mm直径的玻璃圆板工件的实验值非常一致。提出了用于改善抛光平行度的偏心分布载荷技术。获得了A～2A表面粗糙度及小于20"平行度的晶体基片。