文件名称：梯度变化非晶碳涂层的摩擦学行为 (2007年)
文件大小：214KB
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更新时间：2024-06-08 10:22:49
工程技术 论文
采用多源磁控溅射物理气相沉积法在单晶硅片、20Cr和Cr12W表面制备了梯度变化非晶碳涂层，测试了非晶碳涂层的纳米硬度和弹性模量及摩擦磨损行为。结果表明：涂层具有较高的硬度和弹性模量，分别达到15.3 GPa和184 GPa；涂层具有较好的摩擦性能，在干摩擦条件下摩擦因数基本保持在0.1～0.2，磨损率达到10-9 mm3/(N・m)数量级。