一种新型的电热驱动MEMS微继电器的研制* (2009年)

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文件名称：一种新型的电热驱动MEMS微继电器的研制* (2009年)
文件大小：350KB
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更新时间：2021-05-29 20:49:03
工程技术 论文 设计和制备了一种新型的电热驱动微电子机械 （MEMS）继电器，并进行了性能测试。整个工艺采用非硅MEMS工艺，利用Cu作为牺牲层材料，Ni作为微继电器的结构材料。微继电器是基于杠杆放大原理设计的，因此能够获得较大的行程；驱动臂采用“U”型梁设计，能够在不增加功耗的条件下，获得较大的驱动力。并采用Ansys 10.0有限元软件对微继电器进行了模拟分析。测试结果表明，这种微型继电器具有体积小、驱动电压低、切换速度快等优点。