典型分解炉中硅烷分解沉积速率的研究 (2012年)

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文件名称：典型分解炉中硅烷分解沉积速率的研究 (2012年)

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更新时间：2024-06-19 10:02:54

自然科学 论文

摘要研究在典型硅烷分解炉中硅烷分解沉积多晶硅的沉积速率硅烷分解沉积多晶硅实验在硅棒表面温度炉内气压条件下探讨硅棒温度硅烷流速与沉积速率的关系结果显示沉积反应活化