旋转微电机五轴静电轴承的挤压膜空气阻尼

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文件名称：旋转微电机五轴静电轴承的挤压膜空气阻尼
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更新时间：2021-04-08 04:49:21
研究论文 旋转微电机五轴静电轴承的挤压膜空气阻尼