文件名称：微型正交激励磁通门结构设计* (2014年)
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更新时间：2024-05-15 12:15:18
工程技术 论文
利用三维电磁场仿真软件对线-芯结构微型正交激励磁通门进行了仿真分析。 研究了不同频率下激励线宽度、铁芯宽度、激励线厚度、铁芯厚度等磁通门结构参数对铁芯饱和情况的影响。 以减小激励电流、降低磁通门功耗为目标,讨论了采用线-芯结构的微型正交激励磁通门所应选择的结构尺寸。 采用MEMS( Micro-Electro-Mechanical System)工艺制备了这种结构尺寸的微型磁通门传感器并对其进行了测试,采用尖脉冲激励时,其可以以1. 7 mW的超低功耗得到91. 6 V/T的输出灵敏度。