染料旋涂工艺中的挥发和流动 (2004年)

【文件属性】：
文件名称：染料旋涂工艺中的挥发和流动 (2004年)
文件大小：379KB
文件格式：PDF
更新时间：2021-05-09 05:20:55
自然科学 论文 染料旋涂是高密度可录光盘复制工艺中的核心部分,其流体流动的力学机制分析属于旋转圆盘系统理论的最新进展,文中分析了染料旋涂中复合溶剂的挥发对流体流动的影响。利用牛顿流体旋涂模型和旋涂溶剂挥发模型进行仿真实验,并对过渡点位置进行修正。依托实际光盘复制生产线进行离线旋涂实验。根据仿真实验和生产线旋涂实验提出染料旋涂的工艺模型:无溶剂挥发、无流体流动的下料阶段;无溶剂挥发、有流体流动的扩散阶段;有溶剂挥发、无流体流动的甩干阶段。利用工艺模型优化染料旋涂工艺,实现生产线的闭环控制。