超高精度定位系统及线性补偿研究 (2003年)

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文件名称：超高精度定位系统及线性补偿研究 (2003年)
文件大小：327KB
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更新时间：2021-04-22 15:49:02
工程技术 论文 依据一个带有宏定位和微定位的超高精度定位系统设计，应用弹性力学理论进行精定位台的静、动参数的分析和估算，确定了系统的自然频率，并由此设计出双伺服环的控制系统。控制系统由2根循环滚珠丝杠构成宏定位，3个压电驱动器构成微定位。在系统软件中，采用Chebyshev数字滤波器进行去噪。使整个定位系统控制在200mm的行程中，其定位精度达到了8nm。对于由压电驱动器（PZT）的迟滞和非线性特性而产生的系统重复运动误差，系统采用EMM（Exact Model Matc-hing）控制策略，最终实现正向和反向运行的误差