文件名称：BST铁电厚膜的丝网印刷制备工艺研究 (2011年)
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更新时间：2024-05-12 17:43:34
自然科学 论文
对丝网印刷制备BST铁电厚膜工艺中的粉体合成、浆料配置、烧结条件等进行了研究，采用X射线衍射、透射电镜和扫描电子显微镜及配套的能谱仪对制备的BST粉体与厚膜样品的微观结构、成分进行测试分析．结果表明，在氧化铝衬底上一次印刷湿膜，经1 230～1 260℃烧结0．5 h后可获得单相钙钛矿结构，平均晶粒尺寸可达0．5μm且厚度约为10μm的BST铁电厚膜．