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文件名称：阵列波导光栅薄膜的制备及性能 (2003年)
文件大小：55KB
文件格式：PDF
更新时间：2021-05-31 16:04:32
自然科学 论文
以一种特定成分的有机硅为原料,采用溶胶–凝胶法,在硅基片上制备出用于光波导器件的薄膜.通过折射率和厚度测试及XPS成分测试验证了此薄膜具有较好的均匀性,厚度和光学特性,满足光波导器件的要求.分析了溶胶–凝胶法中常见的龟裂现象的原因以及采预防方法.利用这种薄膜结合微电子加工工艺制备出光波导器件阵列波导光栅.