阵列波导光栅薄膜的制备及性能 (2003年)

时间:2024-06-20 09:51:12
【文件属性】:

文件名称:阵列波导光栅薄膜的制备及性能 (2003年)

文件大小:55KB

文件格式:PDF

更新时间:2024-06-20 09:51:12

自然科学 论文

以一种特定成分的有机硅为原料,采用溶胶–凝胶法,在硅基片上制备出用于光波导器件的薄膜.通过折射率和厚度测试及XPS成分测试验证了此薄膜具有较好的均匀性,厚度和光学特性,满足光波导器件的要求.分析了溶胶–凝胶法中常见的龟裂现象的原因以及采预防方法.利用这种薄膜结合微电子加工工艺制备出光波导器件阵列波导光栅.


网友评论