文件名称：用循环伏安法和交流阻抗法表征Au环微电极 (2009年)
文件大小：616KB
文件格式：PDF
更新时间：2024-05-28 16:08:16
自然科学 论文
介绍了Au环微电极的制备和表征方法，该Au环微电极有望在电化学、生物MEMS等方面得到应用。首先设计专用夹具，并在直径为125μm的光纤基底上用电子束蒸发系统沉积厚度为300nm的Au膜；然后在所沉积的Au膜上用真空沉积系统淀积700nm厚的Parylene钝化层；最后切断沉积有多层薄膜的光纤并形成Au环电极。用扫描电镜（SEM）表征所沉积薄膜及其界面处的结合质量；在室温下用电化学工作站在可逆系统中对Au环电极进行循环伏安和交流阻抗谱分析。表征结果表明：所制备的薄膜及其界面处的结合质量良好；循环伏安响应曲