论文研究-一种新型边缘悬空共面波导的研究 .pdf

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文件名称：论文研究-一种新型边缘悬空共面波导的研究 .pdf

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更新时间：2022-09-04 09:44:28

MEMS

一种新型边缘悬空共面波导的研究，瞿红来，邓中亮，本文对一种新型边缘悬空共面波导进行了研究。共面波导的衬底选为高阻硅，衬底上的导体和接地金属板由金属具有高导电性的金属材料