论文研究-一种新型边缘悬空共面波导的研究 .pdf 时间:2022-09-04 09:44:28 【文件属性】: 文件名称:论文研究-一种新型边缘悬空共面波导的研究 .pdf 文件大小:358KB 文件格式:PDF 更新时间:2022-09-04 09:44:28 MEMS 一种新型边缘悬空共面波导的研究,瞿红来,邓中亮,本文对一种新型边缘悬空共面波导进行了研究。共面波导的衬底选为高阻硅,衬底上的导体和接地金属板由金属具有高导电性的金属材料 立即下载