新型单频激光干涉技术 (1993年)

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文件名称：新型单频激光干涉技术 (1993年)

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更新时间：2024-06-14 03:00:11

自然科学 论文

论述了一种新型单频激光干涉技术的原理和测量系统。该测量系统在迈克逊单频激光干涉仪的基础上采用自扫描光电二极管列阵（ＳＳＰＤＡ）接收器件，将直流信号转换成交流信号、微处理机处理，具有波长自动补偿功能。实验证明它比一般单频激光干涉仪具有较高的抗干扰性及测量精度，其分辨率为０．０２μｍ。