文件名称：垂直纳米光栅耦合器耦合效率分析与测试* (2011年)
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更新时间：2024-05-15 12:06:02
工程技术 论文
介绍了基于SOI纳米光栅耦合器的理论研究及测试方法，系统研究了光栅参数对光栅耦合效率的影响，在占空比为1∶1的基础上，对不同光栅槽深作了相应的理论分析，同时，还对不同角度的入射光作了相应的研究，经过仿真在入射角为10°时，对于波长为1550nm 的入射光其耦合效率最高。除此之外，通过在光栅表面添加增透膜使其耦合效率在理论上提高至76%以上，并实验验证了增透膜可以有效的降低输入光场的端面反射及波导表面散射，增强了输出光效率。采用聚焦离子束方法（FIB）在10μm宽的硅波导上加工了纳米光栅结构，利用单模New