铝线键合的等离子清洗工艺研究

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文件名称：铝线键合的等离子清洗工艺研究

文件大小：326KB

文件格式：DOCX

更新时间：2024-01-20 04:29:49

硅片

摘要：采用DOE（实验设计）方法，通过比较铝线拉力的数值、标准方差及PpK，得到最适合铝 线键合工艺的等离子清洗功率、时间和气流速度参数的组合。同时分析了引线框架在料盒中的摆放 位置对等离子清洗效果的影响，引线框架置于等离子气体浓度高的位置清洗效果较好，引线拉力值 能获得更低的方差和更优的过程控制能力。