文件名称：Polymer/SiAWG器件材料光学性质的准确测量 (2005年)
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更新时间：2024-05-28 21:18:57
自然科学 论文
使用 WVASE32型椭偏仪,对Si基单层有机薄膜的测量方法进行分析;并对聚甲基丙烯酸甲酯(P MMA)材料和氟化聚酯材料进行测量,根据测量结果对阵列波导光栅( A WG)器件进行设计.在124 nm到1 700 nm之间可测量出任意波长的折射率,其均方差( MSE)均远小于1 ,证明测量结果极其准确.同时探讨了对多层有机薄膜及氟化聚合物薄膜的测量方法.