聚合物微流控芯片的键合技术与方法 (2008年)

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文件名称：聚合物微流控芯片的键合技术与方法 (2008年)

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更新时间：2024-05-31 16:19:15

工程技术 论文

在微流控芯片的制作中，键合是关键技术之一，基片与盖片只有通过键合才能形成封闭的微通道，因此键合质量直接影响芯片的制作质量。对键合方法进行了分类，综述了目前已有的芯片键合技术及方法，分析了各种键合方法在制作质量、制作效率以及是否适用于批量化制作等方面的局限性，详细介绍了具有效率高、适合批量化生产等优点的超声波键合技术的研究进展。