大气压下氦/氮射频放电冷等离子体特性 (2007年)

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文件名称：大气压下氦/氮射频放电冷等离子体特性 (2007年)
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更新时间：2021-04-25 04:05:36
自然科学 论文 大气压射频辉光放电冷等离子体由于摆脱了真空腔的限制，在生物医学、电子工业、国防等领域有非常广阔的应用前景。为了拓展等离子体形成气体的种类，降低该技术的应用成本，对大气压下纯氮射频放电进行了研究。实验中采用13.56MHz射频电源和裸露的平板电极在大气压下实现了纯氮射频辉光放电，并比较了纯氦、纯氮和氦氮混合气体条件下的放电特性。实验结果表明，大气压条件下，纯氦辉光放电具有两个稳定的放电模式（α模式和γ模式），而纯氮目前则只能稳定地工作在γ放电模式。