文件名称：长波碲镉汞材料As掺杂激活研究 (2015年)
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更新时间：2024-06-15 01:48:38
工程技术 论文
利用离子注入工艺实现长波碲镉汞材料的As 掺杂,As 作为掺杂介质表现出两性掺杂行为,而As只有占据Te位成为受主才能形成P型碲镉汞材料。通过对砷掺杂碲镉汞材料在汞气氛中进行退火,分析注入退火引起的样品电学性质的变化,对砷激活退火采用的汞压、温度及时间进行了研究,利用霍尔测试和二次离子质谱仪(SIMS)等手段分析激活效果,研究发现,高温富汞热退火可以实现碲镉汞As激活。