柱面衍射光栅小转角精密测量方法的研究 (2010年)

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文件名称：柱面衍射光栅小转角精密测量方法的研究 (2010年)

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更新时间：2024-06-14 07:25:37

自然科学 论文

为了实现小转角测量,采用柱面全息衍射光栅干涉型的方法。此方法用光学机械结构直接保证了2个相差 90°的信号,同时在单一的光栅上出现的是单一光扫描场。理论分析证明此测量系统具有包容结构误差性能好的特点,当测量范围±5 .11°时,测量精度可达0 .199″。