文件名称：氮氧混合气体对沉积金刚石膜的影响 (2015年)
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更新时间：2024-06-21 01:04:50
工程技术 论文
通过对微波等离子体化学气相沉积装置中沉积的金刚石薄膜形貌与质量的检测研究了向甲烷/氢气等离子体中同时添加氮气/氧气对薄膜沉积的影响，获得了包括微米级和纳米级的多种薄膜；采用扫描电子显微镜、拉曼光谱以及X射线扫描对薄膜进行了表征，结果表明：只引入少量氧气后生成了<111>取向的较大粒度金刚石薄膜，而只引入少量氮气时生成了<110>取向的纳米级金刚石薄膜；当引入总量一定的氮氧混合气体时，根据氮气与氧气的引入量，所获得的薄膜从微米级多晶金刚石膜延伸至纳米级金刚石薄膜，其晶面组成从混合<111>与<110>取向过