MEMS技术及其应用

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文件名称：MEMS技术及其应用

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更新时间：2014-12-08 14:24:38

MEMS 技术 应用

早在二十世纪六十年代，在硅集成电路制造技术发明不久，研究人员就想利用这些制造技术和利用硅很好的机械特性，制造微型机械部件，如微传感器、微执行器等。如果把微电子器件同微机械部件做在同一块硅片上，就是微机电系统——MEMS: Microelectromechanical System。