离子束作用下的光学表面粗糙度演变研究 (2010年)

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文件名称：离子束作用下的光学表面粗糙度演变研究 (2010年)
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更新时间：2021-05-21 09:23:16
工程技术 论文 为了获得超光滑光学表面,介绍了离子束作用下改善表面粗糙度的抛光方法,并通过相 关的实验进行了验证。光学材料是典型的硬脆材料,在加工过程中的表面粗糙度要经历复杂的演 变过程。离子束加工作为光学镜面加工中的最后一道工序,如果在修正面形的同时,能够有效地 改善表面粗糙度,那么离子束加工的性能就可以得到更好的延伸。分析了离子束作用下的粗糙度 演变机理,在此基础上提出了倾斜入射抛光和牺牲层抛光技术2种改善表面粗糙度的方法,并使 用原子力显微镜进行了测量。实验结果表明:以45°倾斜入射抛光熔石英样件,其粗糙度由初始的