单晶硅炉传动装置，该传动装

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文件名称：单晶硅炉传动装置，该传动装

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更新时间：2013-02-05 09:33:44

单晶硅炉,传动装置

本发明属于一种单晶硅炉传动装置，该传动装 置分为主轴升降装置和主轴旋转装置，主轴升降装 置和主轴旋转装置并排设置，主轴旋转装置和主轴 升降装置并排位于滑座上。本发明将主轴升降和旋 转运行分离，能有效保持主轴平稳和密封运行，以 大幅度提高硅籽晶的质量，还具有结构简单，制作 使用成本低，维修和使用简便效果好的优点。