基于介质上电润湿原理的微液滴驱动芯片 (2006年)

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文件名称：基于介质上电润湿原理的微液滴驱动芯片 (2006年)
文件大小：428KB
文件格式：PDF
更新时间：2021-05-09 05:27:06
自然科学 论文 为了实现对微尺度下流体的精确操控，提出一种基于介质上电润湿（electrow etting-on-dielectric，EWOD）的新型微液滴驱动芯片。研究了介质上电润湿原理及“三明治”结构驱动机制，并利用流体软件（CFD-ACE+）数值模拟液滴在“三明治”结构中的驱动情况；分析了“三明治”结构液滴驱动芯片的工艺，并提出在重掺杂多晶硅电极阵列表面上热氧二氧化硅介质层来制备低驱动电压及高可靠性的新结构驱动芯片；在空气环境下，通过施加45 V驱动电压成功实现了对去离子离散液滴的操作和控制。