光纤连接器端面的显微干涉测试系统 (2009年)

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文件名称：光纤连接器端面的显微干涉测试系统 (2009年)

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更新时间：2024-06-02 15:54:45

工程技术 论文

介绍了一种基于显微干涉的光纤连接器端面的测试系统，干涉仪由Mimu干涉物镜和镜筒透镜组成，CCD相机采集干涉图样，经处理后得到相位分布图。采用Carte相位提取算法，无需进行特定步长的相移。对光纤连接器端面的表面形貌、曲率半径、顶点偏移进行测量，测量系统的横向分辨率可达到0.9μm，重复性测量精度为9.5nm。