文件名称：硅压阻式压力传感器时漂研究 (2005年)
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更新时间：2024-06-04 01:12:41
工程技术 论文
压力传感器的时漂普遍存在，一直找不到有效的方法来解决。针对因参数退化引起的时漂，采用加速老化试验，得到了压力传感器的失效模式及失效比例。分析了输入/输出特性曲线形状及其随时间和温度的变化规律。提出一种用标准压力对传感器进行实时标定进而获得实时输入/输出特性的方法，标定的实现由程序控制。经验证对比，实时输入/输出特性达到很高的精确度。在0～45kPa压力范围、-10～45℃温度范围内，根据其计算的压力值与实际压力比较，最大偏差为0.098kPa，最大相对误差0.92%。