金红石和锐钛矿型二氧化钛薄膜的制备和特性评价 (2004年)

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文件名称：金红石和锐钛矿型二氧化钛薄膜的制备和特性评价 (2004年)

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更新时间：2024-06-05 06:11:52

工程技术 论文

综述了作者近年来通过交流螺旋磁控溅射制备锐钛矿和金红石型微晶薄膜的研究进展,阐述了薄膜的制备工艺与其晶体结构、组成、光学性能以及杀菌能力的关系,并通过有效的方法对其光学性能进行了改进。