文件名称：PZT薄膜的结晶特性及红外特性 (2008年)
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更新时间：2024-06-02 11:11:22
自然科学 论文
采用电子束蒸发方法在 n - Si( 100)衬底上制备 Pb( ZrxTi1 - x ) O3 (简记为 PZT)多晶薄膜。用 X射线衍射分析了 PZT薄膜的结晶择优取向与 Zr/Ti成分比、生长温度、退火气氛和退火温度的关系。结果表明不同Zr /Ti比的薄膜在真空中退火都形成( 110)择优取向;而在空气中退火后薄膜的择优方向与 Zr/Ti成分比有关, Zr/Ti比值小时为( 101)择优取向, Zr/Ti大时为( 100)择优取向。红外吸收光谱的测量结果表明( 100)和( 110)择优取向的 PZ