文件名称：无机盐溶液源溶胶-凝胶法制备锶铋钽铁电陶瓷薄膜过程研究 (2004年)
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更新时间：2024-06-05 20:02:48
自然科学 论文
采用可溶性无机盐Sr( NO3)2, Bi( NO3)3及 HTaF6为原料,以柠檬酸、乙二醇及乙二胺四乙酸( ED-TA)为络合剂,利用溶胶-凝胶旋转涂覆工艺,分别在 Al2O3和 Pt/ Ti/SiO2/Si的衬底上制备了SrBi2Ta2O9(SBT)铁电陶瓷薄膜.采用SEM, XRD及 FTIR等微观分析手段,对制备的 SBT溶胶与薄膜过程机理进行了实验研究.结果表明,由无机盐溶液原料络合合成SBT溶胶是此方法制膜的关键,其中络合剂的种类、用量和pH值的控制等是重要的影响因素.制备了相组成均一、薄膜