高灵敏度云纹干涉法 (1994年)

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文件名称：高灵敏度云纹干涉法 (1994年)

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更新时间：2024-05-30 06:13:42

自然科学 论文

将折射率介质应用于云纹干涉法，大大提高了测量灵敏度。当试件栅频率为６００线／ｍｍ时，虚栅频率可达到６０００线／ｍｍ，利用其±５级衍射光进行干涉，灵敏度为０．１６μｍ。