高灵敏度云纹干涉法 (1994年) 时间:2021-05-10 12:27:02 【文件属性】: 文件名称:高灵敏度云纹干涉法 (1994年) 文件大小:849KB 文件格式:PDF 更新时间:2021-05-10 12:27:02 自然科学 论文 将折射率介质应用于云纹干涉法,大大提高了测量灵敏度。当试件栅频率为600线/mm时,虚栅频率可达到6000线/mm,利用其±5级衍射光进行干涉,灵敏度为0.16μm。 立即下载