文件名称：SiC单晶线锯切片及电镀锯丝制造技术的研究进展 (2013年)
文件大小：842KB
文件格式：PDF
更新时间：2024-05-13 13:32:25
工程技术 论文
针对碳化硅(SiC)单晶硬度高、脆性大，金刚石线锯切片时工具磨损快、切割效率低、晶片表面亚表面易出现微破碎损伤，使SiC单晶高质量切片和高性能锯丝制造技术成为关键和难点的状况,综述了SiC单晶线锯切片及电镀金刚石锯丝制造技术的研究现状，对其中存在的问题进行了概括与分析，并提出了SiC单晶金刚石线锯切片技术的未来研究方向。