通过微浇铸制造X射线吸收光栅，以用于基于光栅的相衬成像

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文件名称：通过微浇铸制造X射线吸收光栅，以用于基于光栅的相衬成像
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更新时间：2021-05-18 05:52:02
研究论文 基于光栅的X射线微分相衬（DPC）成像技术显示出巨大的潜力。 对于
广泛的应用，关键组件必须是低成本的，尤其是
吸收光栅。 因此，我们提出并开发了一种微铸造Craft.io，用于制造含铋的X射线吸收光栅。 该方法对于以低成本，大尺寸和高纵横比进行批量生产是可行的。 为了开发这种
吸收光栅，通过光辅助
电化学蚀刻在硅晶片中制造了具有深沟槽的阵列。 然后通过毛细作用和表面张力将沟槽填充无气泡的熔融铋。 铋作为填充材料具有吸引力，因为它具有很高的质量吸收系数，低成本和广泛的环境相容性。 此外，我们的微铸Craft.io为铋吸收光栅提供了清洁的表面，并且无需进行后处理。 为了测试其在X射线DPC成像中的性能，使用了两个铋吸收光栅，一个作为周期源，另一个作为
分析仪，周期为42和3μm，深度为110和150分别为μm。
获得的相位差图像表明，微铸过程可产生用于X射线DPC成像的合格光栅。