文件名称：干涉图的预处理技术研究 (2009年)
文件大小：242KB
文件格式：PDF
更新时间：2024-06-15 08:13:32
工程技术 论文
提出了一种干涉图预处理的新方法。该方法利用数学形态学的方法对干涉图进行有效区域的边缘提取，利用二维快速傅里叶变换迭代法对干涉图进行区域延拓，并采用非加权离散余弦变换最小二乘算法对干涉图进行波面统一，最终恢复出被测物体的表面面形，为后续结果分析奠定了基础。对一个实际SiO2薄膜样片进行了干涉图的预处理。结果表明，通过该算法得到的干涉图预处理结果，与Zygo干涉仪的分析测试结果基本一致。