基于MEMS的湿度检测仪的研制① (2003年)

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文件名称：基于MEMS的湿度检测仪的研制① (2003年)

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更新时间：2024-05-30 17:05:01

工程技术 论文

所研制的气象仪是一种基于多传感头集成的MEMS系统，可用于测量温湿度、风速、风向和气压的便携式气象检测仪器，同时由于MEMS技术的使用，使得该仪器整体电路简单可靠，而且体积小，携带方便。本文主要介绍湿度检测部分。