面向半导体设备的Interface A通信方法研究.pdf

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文件名称：面向半导体设备的Interface A通信方法研究.pdf

文件大小：265KB

文件格式：PDF

更新时间：2022-10-04 12:28:50

综合文档

针对半导体设备工厂自动化的设备数据采集需求，给出了一种基于Interface A标准的 》通信方法，该方法构造了设备的通用模型，设计了设备通信的安全认证和授权机制，并给出了采集设备 2实时数据的方法，可满足工厂自动化系统对半导体设备的数据采集和设备控制需求。