论文研究-一种新型的甲烷薄膜压电传感器 .pdf

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文件名称：论文研究-一种新型的甲烷薄膜压电传感器 .pdf

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更新时间：2022-09-16 13:30:27

薄膜

一种新型的甲烷薄膜压电传感器，李影，，为了测量甲烷气体的含量，研制了一种薄膜声波压电传感器（TFPAS），该传感器主要利用甲烷的吸收改变压电晶体的谐振频率来检测甲烷�